高純六氟化硫 高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。隨著當今科技的發(fā)展，SF6涉及的領(lǐng)域不斷擴展，被越來越多的基礎(chǔ)領(lǐng)域和科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。